一. 概述 复合真空仪,是新型的真空测量仪,它针对国内热电偶真空测量的实际情况,将国产热偶传感器和美国Hastings公司的热堆传感器的仪表组合成一个仪表,通过面板按键切换传感器测量的种类,测量数据则采用计算机技术进行优化处理,提升了产品功能性、实用性和方便性,可应用于航天、机械、石油、化工、冶金、电子及医疗、低温液体贮运设备等领域的各类真空测量。产品符合JB/T6873-2005。 二. 工作原理 1.ZJ-51热偶规管 根据低压强下气体分子热传导特性,当热偶规管热丝的加热电流恒定时,热丝的温度将随管内的压强而变化,当压强降低时,气体分子的热传导运动减弱,热丝的温度升高;反之,热丝的温度减小,热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化,只要测量规管的热电势值,与之对应的系统压强就确定了。规管输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。 2. DV-6R热堆传感器 美国Hastings公司DV-6系列真空测量传感器是用贵金属材料制作的热电偶真空传感器(附图)。用低电压的交流电桥对其热电偶A和B进行加热,当真空系统中压力的变化引起气体分子碰撞的变化时,热电偶周围的气体或气体混合物的之间热传导随之变化,这使得热电偶A和B的温度变化,而温度的变化将引起热电偶A和B之间的直流输出变化(和压力变化方向相反),热电偶C用以对环境温度的瞬时变化进行补偿。热偶变化的热电势反映了热丝温度的变化,测量热电势值,与之对应的系统压强就确定了,传感器输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。 三 传感器技术指标 1 ZJ-51型的主要技术指标 1.1 量 程:66.5Pa~ 0.1 Pa 1.2 真空度误差:± 15 % 1.3 加热电流 :90~130 mA 2 DV-6R型的主要技术指标 2.1 量 程:1Torr~0.001 Torr 2.2 真空度误差:±(读数的15 %+0.001 Torr)(较大) 2.3 连 接尺 寸:1/8"npt公螺纹 2.4 操作温度:-20 ~ +60℃ 四 仪器的技术指标 1 ZJ-51型 1.1 测 量 范 围:500Pa~0.1Pa(0~ 100格) 1.2 有效误差范围:68Pa~0.1Pa 1.3 压力极限误差:±20 % 1.4 加热电流范围:80mA~130mA 1.5 加热电流误差:±0.5% 2 DV-6R型 2.1 测 量 范 围:450Pa~0.1Pa 2.2 有效误差范围:133Pa~0.1Pa 2.2 压力极限误差:±20% 3 其它技术指标 3.1 工作电源:DC8V;充电AC220/50Hz 3.2 显示位数:四位数码LCD 3.3 重 量:0.3Kg 3.4 功 率: 3 VA 3.5 外型尺寸:185×95×38 mm3